真空科学与技术学报2023年08期
- 综述评述
- 超灵敏度真空检漏技术进展董云宁;闫睿;梁进智;魏萌萌;余荣;崔健;崔玉妹;佟亚珍;王欢;王汐月;陈俊儒;杨传森;齐京;卢耀文;
- 研究快报
- PECVD法制备氟碳聚合物涂层工艺参数对涂层形貌及性能影响倪海鹰;陈军;
- CdZnSe/ZnSe/ZnSeS量子点材料的制备及其量子点电致发光器件性能研究黄桥灿;杨尊先;郭太良;
- 研究论文
- 基于不同神经网络的DLC薄膜综合性能预测的对比研究陈志立;梁帅;李国浩;赵执鹏;刘宇泰;杜广煜;
- 不同加热温度下泡沫金属芯钠热管启动性能试验研究马婷婷;朱昌健;李阳;王小兵;李森;
- 库仑型静电卡盘吸附力受电极结构及晶圆氧化层影响的研究孙诗壮;赵晋荣;
- 低真空管路中颗粒传输特性研究党伟;王旭迪;张俊;毕海林;吴俊;
- 阵列式针-环自激发等离子体射流装置实现大面积灭菌周正;张雨晗;王风云;杜晓霞;周芳;李华;
- 双吸式液环泵内流场及壳体压力脉动分析张耀文;孟凡瑞;马晓钟;赵旭;王云飞;
- 典型截止节流阀空化特性分析王芊婷;王均宇;张克鹏;宋永兴;张林华;李建军;
- 技术交流
- 3D NAND存储芯片生产线CMP工艺及设备配置研究程星华;白帆;赵馨飞;邱雪皎;